Vacuum Chuck Seramika Misy Porous ho an'ny Fikirakirana Wafer Miolana

Ny "porous ceramic chuck" an'ny St.Cera dia vita amin'ny alumina madio tsara miaraka amin'ny porosity misokatra mitovy 30–45% ary haben'ny mason-koditra eo anelanelan'ny 10 ka hatramin'ny 100 μm. Tsy toy ny "grooved chucks" mahazatra, ny velaran-tany porous dia manome banga miparitaka manerana ny lamosin'ny wafer manontolo, mitazona tsara ireo wafer miolakolaka, manify, na mitokana tsy misy sisiny mitsangana na tapaka. Ny "vacuum" malefaka (azo amboarina amin'ny alàlan'ny restrictor) dia misoroka ny marika amin'ny lamosin'ny wafer ihany koa.

fepetra arahana(mifototra amin'ny 99.6% Al₂O₃):

Fampiharana:

Fikosohana manify (≤50 μm) amin'ny ilany aoriana

Fametrahana wafer miolikolika ho an'ny fanapahana dice

Fanangonana die tokana avy amin'ny kasety

Fikirakirana takelaka fitaratra

Famokarana & Kalitao:

Vovoka seramika afangaro amin'ny mpanamboatra mason-koditra organika → tsindriana → sintered → afangaro hatramin'ny hateviny farany. Ny chuck tsirairay dia notsapaina tamin'ny alàlan'ny fikorianan'ny rano mba hahitana ny fitoviana amin'ny banga (≤5% deviation) ary nojerena ny fizarana haben'ny mason-koditra (SEM). Refesina amin'ny laser interferometer ny fisaka.

Tombony raha oharina amin'ny Grooved Chucks:

Tsy misy marika sisiny wafer na die shift

Mitazona ireo wafer miolikolika (hatramin'ny 500 μm ny savaivony)

Manafoana ny fanidiana lavaka banga

Fanohanana ny fampitoviana ho an'ny sosona manify

Fanamboarana manokana:

Endrika boribory na mahitsizoro, hatramin'ny 600 mm. Afaka mampiasa peratra famehezana sisiny na fizarazarana banga izahay. Misy karazany misy metaly ho an'ny fepetra henjana.

Mangataha santionany ho an'ny haben'ny wafer sy ny fitsapana ny endrika miolikolikao.