Peratra Seramika Alumina Madio Avo ho an'ny Efitrano Fizotry ny CVD / PVD
Ny peratra seramika an'ny St.Cera dia natao manokana hampiasaina amin'ny efitrano fanodinana CVD (Chemical Vapor Deposition) sy PVD (Physical Vapor Deposition). Vita amin'ny alumina madio 99.8% (Al₂O₃), ity peratra ity dia miasa ho toy ny fonony efitrano, peratra fifantohana, na singa kitapo fanodinana mba hanakanana ny plasma sy hiarovana ny rindrin'ny efitrano amin'ny fahasimbana. Ity fitaovana ity dia manolotra fanoherana plasma tsara dia tsara, tanjaka dielektrika avo lenta (15 × 10⁶ V/m), ary fahamarinan-toerana mafana hatramin'ny 1600°C, izay miantoka ny faharetan'ny fampiasana azy amin'ny tontolo plasma mahery vaika mifototra amin'ny fluorine. Ny fandeferana refy mazava (± 0.05 mm amin'ny ID/OD) sy ny fisaka (≤ 10 μm) dia ahafahana mametraka ny sisin'ny wafer tsy miovaova, manatsara ny fitoviana amin'ny fametrahana ary mampihena ny famokarana poti-javatra.
Fepetra takiana (mifototra amin'ny 99.8% Al₂O₃):
| NY FANANANA | sarobidy |
| KEVITRA | 99.8% Alumina (Voro) |
| hakitroky | 3.93 g/sm³ |
| Fidiran'ny rano | 0% |
| Tanjaka miolikolika | 361 MPa |
| Faharetan'ny tapaka | 3–4 MPa·m¹/² |
| Hamafin'ny Vickers | 16 GPa |
| Modulus an'ny Young | 380 GPa |
| Fitondran-tena mafana | 32 W/m·k |
| Fitomboana ara-hafanana (25–1000°C) | 7.2×10⁻⁶/℃ |
| Tanjaka Dielektrika | 15×10⁶ V/m |
| Fanoherana manokana | >10¹⁴ Ω·sm |
| Mari-pana ambony indrindra amin'ny fiasana | 1600°C |
Fampiharana:
- · Peratra fifantohana amin'ny efitrano CVD sy peratra sisiny
- · Peratra ampinga sy peratra famehezana efitrano PVD
- · Fonony sy peratra fonony misy lavaka fanidiana
- · Peratra fameperana plasma ao amin'ny rafitra etch dielectric
Dingana famokarana:
Fanindriana isostatika → fanodinana maitso → sintering amin'ny 1600°C → Fikosohana CNC ID/OD → fanindriana ny velarana → fanadiovana ultrasonika → fanaraha-maso CMM 100%. Ny famaranana velarana tena malama (Ra ≤0.4 μm) dia mampihena ny fifikiran'ny poti-javatra.
Fanaraha-maso ny Kalitao:
- · Fanamarinana refy 100% (ID, OD, hatevina, fisaka)
- · Fanaraha-maso ny fidiran'ny loko ao anaty rano mba hahitana ireo triatra madinika eo amin'ny velarana
- · Fitsapana tanjaka dielektrika araka ny ASTM D149
- · Tsy misy fiovan'ny loko na porosity hita maso eo ambanin'ny mikroskopia 20×
Tombony raha oharina amin'ny peratra metaly na quartz:
- · 5–10× lava kokoa ny androm-piainany noho ny peratra aliminioma ao amin'ny plasma fluorine
- · Tsy misy loto metaly ao anaty sarimihetsika manify
- · Fanoherana plasma ambony kokoa noho ny quartz (tsy misy lavaka erosions)
- · Mitazona ny insulasiôna elektrika mihoatra ny 10¹⁴ Ω·cm na dia efa nampiasaina nandritra ny fotoana maharitra aza
Akora hafa — Silicon Nitride (Si₃N₄):
Ho an'ny fampiharana izay mitaky hamafin'ny vaky ambony kokoa (6.2 MPa·m¹/²) ary fanoherana tsara kokoa ny dona mafana (coefficient expansion 3.2×10⁻⁶/℃), dia misy peratra Si₃N₄ azo alaina. Na izany aza, ny alumina dia mahomby kokoa amin'ny vidiny ho an'ny ankamaroan'ny fampiharana CVD/PVD. Azafady mba farito ny safidin'ny fitaovana rehefa manafatra.
Fanamboarana manokana:
- · Lavaka miditra, mombamomba misy dingana, na lavaka mifanandrify ho an'ny fametrahana
- · Ety ambonin'ny sosona Y₂O₃ mba hampitomboana ny fanoherana ny plasma (tsy voatery)
- · Sokajiana tamin'ny laser ny laharan'ny ampahany / kaody antsapaka
Fanamarihana:Manaraka tsara ny tabilao toetran'ny Al₂O₃ nomena ireto angon-drakitra etsy ambony ireto. Raha mila peratra Si₃N₄, jereo ny takelaka angon-drakitra Si₃N₄ misaraka omena.
