Tsindrona Seramika ho an'ny Fitaovana Semiconductor
Ny tsindrona seramika mpanohana an'ny St.Cera (fantatra ihany koa amin'ny hoe tsindrona fanandratana na tsindrona fanohanana) dia ampiasaina ao amin'ny efitrano fanodinana semiconductor mba hampiakatra ny wafer na substrate mandritra ny fikirakirana, fanafanana, na fampangatsiahana. Vita amin'ny alumina na silikônina nitrida 99.8%, ireo tsindrona ireo dia manolotra tanjaka avo lenta amin'ny fanerena, fahamarinan-toerana mafana, ary fanoherana simika. Ny endrika hemispherical na tendrony fisaka dia misoroka ny fikikisana wafer.
fepetra arahana(Alumina 99.8%):
| NY FANANANA | sarobidy |
| KEVITRA | 99.8% Al₂O₃ na Si₃N₄ |
| NY FAHARETANY | 10 – 100 mm |
| savaivony | 1 – 10 mm |
| Endriky ny tendrony | Fisaka, hemisfera, maranitra |
| Tanjaky ny famoretana (Al₂O₃) | >2000 MPa |
| Mari-pana Faratampony (Al₂O₃) | 1600°C |
| Famaranana ny velarana | Voafandrika (Ra ≤0.4 μm) |
| Fandeferana amin'ny savaivony | ±0.01 mm |
Fampiharana:
Tsindrona fanandratana ao amin'ny efitrano CVD/PVD
Tsindrona fanohanana ho an'ny fandrahoan-tsakafo amin'ny takelaka mafana
Rafitra fanohanana karatra Probe
Fanohanana sambo vita amin'ny lafaoro Quartz
Fanamboarana:
Fikosohana tsy misy afovoany mazava tsara ny OD → fikosohana diamondra amin'ny tendrony → fanadiovana ultrasonika → fanaraha-maso 100% amin'ny refy.
Fanaraha-maso ny Kalitao:
CMM ho an'ny halavany/savaivony, fampitahana optika ho an'ny savaivony amin'ny tendrony, fitsapana ny enta-mavesatra mba hanamarinana ny tanjaky ny fanerena (santionany kisendrasendra isaky ny andiany). Tsy misy loto ferromagnetika (nohamarinina tamin'ny andriamby).
Tombony raha oharina amin'ny Pins metaly na Quartz:
5x lava kokoa ny androm-piainany noho ny vy tsy misy harafesina
Tsy misy loto metaly ao amin'ny efitrano fanodinana
Fahafaha-manafana ambony kokoa noho ny quartz (1600°C vs 1100°C)
Tsy miraikitra ny velarany (mihena ny fifikiran'ny poti-javatra)
Fanamboarana manokana:
Tendrony maromaro, fotony misy kofehy, na tahony miendrika tahony.
Manome pin SiC ho an'ny tontolo plasma tafahoatra ihany koa izahay.
