Takelaka fizarana entona alumina ho an'ny lohan'ny fandroana CVD/PVD
Ny takelaka fizarana entona (douche) an'ny St.Cera dia vita amin'ny milina avo lenta vita amin'ny alumina 99.8%. Izy io dia misy lavaka bitika maromaro (savaivony 0.3–1.5 mm) izay miantoka ny fikorianan'ny entona mitovy manerana ny velaran'ny wafer mandritra ny dingana CVD, PVD, na ALD. Ny tanjaky ny dielektrika avo lenta (>15×10⁶ V/m) sy ny fanoherana ny plasma dia mahatonga azy io ho tena ilaina amin'ny fametrahana sarimihetsika manify semiconductor.
Fepetra takiana:
| NY FANANANA | sarobidy |
| KEVITRA | 99.8% Al₂O₃ na SiC |
| savaivony | 100 – 1500mm (boribory) na mahitsizoro |
| hateviny | 5 – 20 mm |
| Diameter'ny lavaka | 0.3 – 1.5 mm |
| Endrika lavaka | Namboarina manokana (telozoro, efamira, radial) |
| Fisaka | ≤10 μm manerana ny faritra manontolo |
| Fahasarotan'ny ety ambonin'ny tany | Ra ≤0.6 μm (lafiny entona) |
| Taham-pahalalam-be | 5–15% |
Fampiharana:
Takelaka fandroana PECVD
Mpampiditra entona ALD
Takelaka fizarana entona ao amin'ny efitrano fandavahana
Singa ao amin'ny reaktora MOCVD
Fanamboarana:
Takelaka alumina voapetaka fisaka → Fandavahana CNC miaraka amin'ny fitaovana voarakotra diamondra (fandeferana amin'ny toerana misy lavaka ±0.02 mm) → fanesorana bara → fanadiovana ultrasonika → Fonosana kilasy 100.
Fanaraha-maso ny Kalitao:
Nojerena 100% ny haben'ny lavaka (rafitry ny fahitana), ny fisaka (interferometer laser), ary ny fitoviana amin'ny fikorianan'ny entona (sarintany tsindry) isaky ny takelaka tsirairay. Tsy misy triatra bitika eo ambanin'ny mikroskopia 20x.
Tombony raha oharina amin'ny takelaka metaly:
Tsy misy loto metaly ao anaty sarimihetsika manify
Kely kokoa ny famokarana poti-javatra (tsy misy poti-javatra harafesina)
Mahatanty plasma fanadiovana mahery vaika (CF₄, NF₃)
Endri-javatra manokana:
Lakandrano entona ao ambadika, lavaka fanoherana, tombo-kase sisiny, ary karazana fitaovana samihafa (SiC ho an'ny fitondrana hafanana ambony kokoa, sosona Y₂O₃ ho an'ny fanoherana ny plasma).
Manome fanamarinana CAD sy simulation ny fikorianan'ny rano izahay alohan'ny fanamboarana.
