-
Peratra Seramika Avo Lenta vita amin'ny Alumina
Voaforona tamin'ny alalan'ny fanerena isostatika mangatsiaka ary nosinterina tamin'ny hafanana avo, avy eo nokarakaraina sy nopolesina tamim-pitandremana tsara, ireo kojakoja seramika ireo dia afaka mahafeno ny fepetra takiana henjana amin'ny fitaovana semiconductor miaraka amin'ny toetrany toy ny fanoherana ny fikikisana, ny fanoherana ny harafesina, ny fivelaran'ny hafanana ambany, ary ny insulation. Ny seramika dia afaka miasa amin'ny karazana fitaovana famokarana semiconductor maro miaraka amin'ny mari-pana avo, banga na entona manimba mandritra ny fotoana maharitra.
Vita avy amin'ny vovoka alumina madio avo lenta, karakaraina amin'ny alàlan'ny fanerena isostatic mangatsiaka, sintering amin'ny mari-pana avo ary famaranana mazava tsara, mety hahatratra ny fandeferana refy hatramin'ny ±0.001 mm, famaranana ny velarana Ra 0.1, fanoherana ny mari-pana 1600 ℃.
-
Fitaovana Semiconductor namboarina manokana an'ny ST.CERA, Chucks Seramika
Voaforona tamin'ny alalan'ny fanerena isostatika mangatsiaka ary nosinterina tamin'ny hafanana avo, avy eo nokarakaraina sy nopolesina tamim-pitandremana tsara, ireo kojakoja seramika ireo dia afaka mahafeno ny fepetra takiana henjana amin'ny fitaovana semiconductor miaraka amin'ny toetrany toy ny fanoherana ny fikikisana, ny fanoherana ny harafesina, ny fivelaran'ny hafanana ambany, ary ny insulation. Ny seramika dia afaka miasa amin'ny karazana fitaovana famokarana semiconductor maro miaraka amin'ny mari-pana avo, banga na entona manimba mandritra ny fotoana maharitra.
Vita avy amin'ny vovoka alumina madio avo lenta, karakaraina amin'ny alàlan'ny fanerena isostatic mangatsiaka, sintering amin'ny mari-pana avo ary famaranana mazava tsara, mety hahatratra ny fandeferana refy hatramin'ny ±0.001 mm, famaranana ny velarana Ra 0.1, fanoherana ny mari-pana 1600 ℃.
-
Mpanamboatra Seramika Silikônina Karbida (SiC) - Henjana be ho an'ny fikirakirana wafer amin'ny mari-pana avo
Ny "effector" seramika SiC an'ny St.Cera dia vita amin'ny karbida silikônina madio avo lenta (SiC 99.72%, Si maimaim-poana 0.05%) amin'ny fampiasana ny akora andiany S1111. Manolotra toetra mekanika miavaka izy io: tanjaka miolikolika 449 MPa (voarefy), modulus elastika 457 GPa (voarefy), ary hamafin'ny Vickers 25–28 GPa (mahazatra). Ny hakitroky ambany (3.10–3.15 g/cm³, mahazatra) dia manome hamafin'ny hafanana avo lenta, mety tsara ho an'ny robot famindrana wafer haingam-pandeha. Miaraka amin'ny conductivity mafana 120–150 W/m·K (mahazatra) ary coefficient fanitarana mafana 4.0–4.5×10⁻⁶/℃ (mahazatra), ity "effector" ity dia mamoaka hafanana tsara ary mitazona ny fahamarinan'ny refy mandritra ny fikirakirana amin'ny hafanana avo (hatramin'ny 1600–1700°C, tsy misy enta-mavesatra). Ny loko mainty/volondavenona sy ny tsy fidiran'ny rano dia miantoka ny fifanarahana amin'ny efitrano madio.
-
Vacuum Chuck vita amin'ny Silicon Carbide (SiC) ho an'ny tontolo iainana avo lenta sy plasma
Ny chuck seramika vita amin'ny SiC an'ny St.Cera dia vita amin'ny karbida silikônina madio avo lenta (batch S1111, SiC 99.72%, Si maimaim-poana 0.05%). Manome tanjaka miolikolika voarefy 449 MPa, hamafin'ny vaky 3.12 MPa·m¹/², ary modulus elastika 457 GPa. Ny conductivity mafana mahazatra an'ity fitaovana ity (120–150 W/m·K) sy ny fivelarana mafana ambany (4.0–4.5×10⁻⁶/℃) dia ahafahana miakatra haingana ny mari-pana ary mampihena ny fiovaovan'ny wafer mandritra ny tsingerin'ny hafanana. Azo amboarina ho chuck banga porous (fikorianan'ny entona mitovy) na chuck mahazatra misy lavaka ny chuck. Miaraka amin'ny mari-pana fampiasana ambony indrindra 1600–1700°C (tsy misy enta-mavesatra) ary fanoherana miavaka ny fihotsahan'ny plasma, ity chuck ity dia mety tsara amin'ny fanodinana wafer amin'ny mari-pana avo lenta (annealing, RTP) sy efitrano etch mahery vaika izay simba ny chuck alumina.
-
Fitaovana Semiconductor Kojakoja Seramika Mpitatitra Seramika
Voaforona tamin'ny alalan'ny fanerena isostatika mangatsiaka ary nosinterina tamin'ny hafanana avo, avy eo nokarakaraina sy nopolesina tamim-pitandremana tsara, ireo kojakoja seramika ireo dia afaka mahafeno ny fepetra takiana henjana amin'ny fitaovana semiconductor miaraka amin'ny toetrany toy ny fanoherana ny fikikisana, ny fanoherana ny harafesina, ny fivelaran'ny hafanana ambany, ary ny insulation. Ny seramika dia afaka miasa amin'ny karazana fitaovana famokarana semiconductor maro miaraka amin'ny mari-pana avo, banga na entona manimba mandritra ny fotoana maharitra.
Vita avy amin'ny vovoka alumina madio avo lenta, karakaraina amin'ny alàlan'ny fanerena isostatic mangatsiaka, sintering amin'ny mari-pana avo ary famaranana mazava tsara, mety hahatratra ny fandeferana refy hatramin'ny ±0.001 mm, famaranana ny velarana Ra 0.1, fanoherana ny mari-pana 1600 ℃.
-
Peratra Fitotoana Seramika Alumina Misy Tohana Metaly ho an'ny Fampiharana Fametahana Henjana Avo
Ny peratra fikosoham-bary vita amin'ny alumina metaly an'ny St.Cera dia mampifangaro sosona seramika misy alumina madio avo lenta (99.8% Al₂O₃) miaraka amin'ny lamosina metaly voalamina tsara (matetika aliminioma na vy tsy misy harafesina). Ity endrika mifangaro ity dia manome ny fanoherana ny fikosoham-bary miavaka sy ny tsy fahatomombanan'ny simika amin'ny seramika eo amin'ny velaran'ny fikosoham-bary, raha toa kosa ny fotony metaly manampy tanjaka mekanika, fametrahana mora, ary fanoherana ny vaky mora vaky. Ny sosona alumina dia manolotra tanjaka miondrika 361 MPa, hamafin'ny Vickers 16 GPa, ary fahamarinan-toerana mafana hatramin'ny 800°C. Ny fotony metaly dia namboarina manokana miaraka amin'ny lavaka fametrahana, tsindrona toerana, na toetra magnetika mba hampidirana azy amin'ny milina lapping, fikosoham-bary planetary, ary fitaovana CMP.
-
Kojakoja seramika ho an'ny fitaovana Semiconductor Probe Station
Voaforona tamin'ny alalan'ny fanerena isostatika mangatsiaka ary nosinterina tamin'ny hafanana avo, avy eo nokarakaraina sy nopolesina tamim-pitandremana tsara, ireo kojakoja seramika ireo dia afaka mahafeno ny fepetra takiana henjana amin'ny fitaovana semiconductor miaraka amin'ny toetrany toy ny fanoherana ny fikikisana, ny fanoherana ny harafesina, ny fivelaran'ny hafanana ambany, ary ny insulation. Ny seramika dia afaka miasa amin'ny karazana fitaovana famokarana semiconductor maro miaraka amin'ny mari-pana avo, banga na entona manimba mandritra ny fotoana maharitra.
Vita avy amin'ny vovoka alumina madio avo lenta, karakaraina amin'ny alàlan'ny fanerena isostatic mangatsiaka, sintering amin'ny mari-pana avo ary famaranana mazava tsara, mety hahatratra ny fandeferana refy hatramin'ny ±0.001 mm, famaranana ny velarana Ra 0.1, fanoherana ny mari-pana 1600 ℃.
-
Fanodinana namboarina manokana ny "Al2O3 Ceramic Wafer Chuck"
Voaforona tamin'ny alalan'ny fanerena isostatika mangatsiaka ary nosinterina tamin'ny hafanana avo, avy eo nokarakaraina sy nopolesina tamim-pitandremana tsara, ireo kojakoja seramika ireo dia afaka mahafeno ny fepetra takiana henjana amin'ny fitaovana semiconductor miaraka amin'ny toetrany toy ny fanoherana ny fikikisana, ny fanoherana ny harafesina, ny fivelaran'ny hafanana ambany, ary ny insulation. Ny seramika dia afaka miasa amin'ny karazana fitaovana famokarana semiconductor maro miaraka amin'ny mari-pana avo, banga na entona manimba mandritra ny fotoana maharitra.
Vita avy amin'ny vovoka alumina madio avo lenta, karakaraina amin'ny alàlan'ny fanerena isostatic mangatsiaka, sintering amin'ny mari-pana avo ary famaranana mazava tsara, mety hahatratra ny fandeferana refy hatramin'ny ±0.001 mm, famaranana ny velarana Ra 0.1, fanoherana ny mari-pana 1600 ℃.
-
Fitaovana Semiconductor namboarina manokana an'ny ST.CERA ho an'ny takelaka seramika
Voaforona tamin'ny alalan'ny fanerena isostatika mangatsiaka ary nosinterina tamin'ny hafanana avo, avy eo nokarakaraina sy nopolesina tamim-pitandremana tsara, ireo kojakoja seramika ireo dia afaka mahafeno ny fepetra takiana henjana amin'ny fitaovana semiconductor miaraka amin'ny toetrany toy ny fanoherana ny fikikisana, ny fanoherana ny harafesina, ny fivelaran'ny hafanana ambany, ary ny insulation. Ny seramika dia afaka miasa amin'ny karazana fitaovana famokarana semiconductor maro miaraka amin'ny mari-pana avo, banga na entona manimba mandritra ny fotoana maharitra.
Vita avy amin'ny vovoka alumina madio avo lenta, karakaraina amin'ny alàlan'ny fanerena isostatic mangatsiaka, sintering amin'ny mari-pana avo ary famaranana mazava tsara, mety hahatratra ny fandeferana refy hatramin'ny ±0.001 mm, famaranana ny velarana Ra 0.1, fanoherana ny mari-pana 1600 ℃.
-
Chuck banga Alumina 12-Inch ho an'ny fanodinana Wafer 300mm
Ny "vacuum chuck" 12 santimetatra an'ny St.Cera dia namboarina tamin'ny fomba tena tsara avy amin'ny alumina madio 99.8% (Al₂O₃) ho an'ny fikirakirana "wafer" 300mm. Ny "chuck" dia manana velarana tsara (sakany 0.5–1.0 mm, elanelana 2–3 mm) mba hahazoana antoka fa mizara mitovy ny "vacuum" manerana ny savaivony 300mm. Voatazona ao anatin'ny 5 μm ny fisaka, ahafahana miraikitra tsara ny "wafer" mandritra ny fanapahana, ny fikosoham-bary ary ny fizahana. Ny tanjaky ny "flexural" avo lenta (361 MPa) sy ny hamafin'ny (16 GPa) an'ny fitaovana dia miantoka ny fahamarinan'ny refy maharitra na dia amin'ny tsingerin'ny "vacuum" miverimberina aza.
-
Mpanamboatra faran'ny seramika alumina miaraka amin'ny fantsona banga mitambatra
Ny "aspirateur" vita amin'ny ...
-
Kojakoja Seramika Alumina Azo Antoka ESD ho an'ny Fitantanana Wafer Saro-pady Statika
Ny kojakoja seramika alumina azo antoka amin'ny ESD (electrostatic discharge) an'ny St.Cera dia vita amin'ny Al₂O₃ madio 99.8% miaraka amin'ny fanoherana ny velarana namboarina manokana 10⁶–10⁹ Ω/sq, izay tratrarina amin'ny alàlan'ny dingana doping na coating manokana. Ireo kojakoja ireo dia manaparitaka tsara ny fiampangana static, misoroka ny fahasimbana elektrostatika amin'ny wafers sy fitaovana semiconductor saro-pady. Ny akora fototra dia mitazona ny tanjany avo lenta (361 MPa), ny hamafiny (16 GPa), ary ny tanjany dielectric (15×10⁶ V/m). Ny kojakoja seramika azo antoka amin'ny ESD dia misy ny end effectors, lift pins, guide rails, ary kojakoja namboarina manokana ho an'ny automation FAB.
