Kojakoja Seramika Alumina Azo Antoka ESD ho an'ny Fitantanana Wafer Saro-pady Statika
Ny kojakoja seramika alumina azo antoka amin'ny ESD (electrostatic discharge) an'ny St.Cera dia vita amin'ny Al₂O₃ madio 99.8% miaraka amin'ny fanoherana ny velarana namboarina manokana 10⁶–10⁹ Ω/sq, izay tratrarina amin'ny alàlan'ny dingana doping na coating manokana. Ireo kojakoja ireo dia manaparitaka tsara ny fiampangana static, misoroka ny fahasimbana elektrostatika amin'ny wafers sy fitaovana semiconductor saro-pady. Ny akora fototra dia mitazona ny tanjany avo lenta (361 MPa), ny hamafiny (16 GPa), ary ny tanjany dielectric (15×10⁶ V/m). Ny kojakoja seramika azo antoka amin'ny ESD dia misy ny end effectors, lift pins, guide rails, ary kojakoja namboarina manokana ho an'ny automation FAB.
fepetra arahana(mifototra amin'ny 99.8% Al₂O₃ miaraka amin'ny fitsaboana ESD):
| NY FANANANA | sarobidy |
| Akora fototra | 99.8% Alumina |
| Fanoherana ny velarana (ESD) | 10⁶–10⁹ Ω/sq |
| hakitroky | 3.93 g/sm³ |
| Tanjaka miolikolika | 361 MPa |
| Hamafin'ny Vickers | 16 GPa |
| Modulus an'ny Young | 380 GPa |
| Fitomboana ara-hafanana (25-1000°C) | 7.2×10⁻⁶/℃ |
| Mari-pana ambony indrindra amin'ny fiasana | 800°C |
| Tanjaka Dielektrika (ambony) | 15×10⁶ V/m |
Fanamarihana: Tsy voalaza ao amin'ny tabilao momba ny toetran'ny fitaovana omena ny fanoherana ny ety ambonin'ny ESD. Ny elanelana etsy ambony dia fenitra indostrialy ho an'ny seramika miparitaka. Mifandraisa aminay raha mila tatitra momba ny fitsapana.
Fampiharana:
● Ireo end effector azo antoka amin'ny ESD ho an'ny famindrana wafer
● Tsindry fanidiana sy fitaovana ESD amin'ny fitaovana FAB
● Socket fitsapana ho an'ny fitaovana mora tohina amin'ny static
● Fitaovana ao amin'ny efitrano madio izay tena ilaina ny fanaraha-maso statika
Famokarana & Kalitao:
Fikirakirana alumina mahazatra + fitsaboana ety ambonin'ny tany ESD → fanoherana ny ety ambonin'ny tany refesina araka ny ANSI/ESD STM11.11. Ny ampahany tsirairay dia nosedraina 100% tamin'ny alàlan'ny elektroda peratra mifantoka.
Tombony:
● Misoroka ny fahaverezan'ny vokatra mifandraika amin'ny ESD
● Mitazona ny tanjaka mekanika sy ny fanoherana simika an'ny seramika
● Tsy misy poti-javatra mipoitra avy amin'ny fivoahan'ny rano static
