Mpanamboatra Seramika Silikônina Karbida (SiC) - Henjana be ho an'ny fikirakirana wafer amin'ny mari-pana avo
Ny "effector" seramika SiC an'ny St.Cera dia vita amin'ny karbida silikônina madio avo lenta (SiC 99.72%, Si maimaim-poana 0.05%) amin'ny fampiasana ny akora andiany S1111. Manolotra toetra mekanika miavaka izy io: tanjaka miolikolika 449 MPa (voarefy), modulus elastika 457 GPa (voarefy), ary hamafin'ny Vickers 25–28 GPa (mahazatra). Ny hakitroky ambany (3.10–3.15 g/cm³, mahazatra) dia manome hamafin'ny hafanana avo lenta, mety tsara ho an'ny robot famindrana wafer haingam-pandeha. Miaraka amin'ny conductivity mafana 120–150 W/m·K (mahazatra) ary coefficient fanitarana mafana 4.0–4.5×10⁻⁶/℃ (mahazatra), ity "effector" ity dia mamoaka hafanana tsara ary mitazona ny fahamarinan'ny refy mandritra ny fikirakirana amin'ny hafanana avo (hatramin'ny 1600–1700°C, tsy misy enta-mavesatra). Ny loko mainty/volondavenona sy ny tsy fidiran'ny rano dia miantoka ny fifanarahana amin'ny efitrano madio.
fepetra arahana(mifototra amin'ny tatitra fitsapana SiC S1111 nomena sy ny sanda mahazatra):
| NY FANANANA | sarobidy |
| KEVITRA | SiC (99.72% SiC, 0.05% Si afaka) |
| Loko | Mainty/Volondavenona |
| hakitroky | 3.10–3.15 g/cm³ |
| Fidiran'ny rano | 0% |
| Tanjaka miolikolika | 449 MPa (salan'isa) |
| Faharetan'ny tapaka | 3.12 MPa·m¹/² (salan'isa) |
| Modulus elastika | 457 GPa |
| Hamafin'ny Vickers | 25–28 GPa |
| Fitondran-tena mafana (25°C) | 120–150 W/m·K |
| CTE (25–1000°C) | 4.0–4.5×10⁻⁶/℃ |
| Hafanana Fampiasana Ambony Indrindra (tsy misy enta-mavesatra) | 1600–1700°C |
Fampiharana:
● Fikirakirana wafer amin'ny mari-pana avo (aorian'ny fanafanana, RTP, epitaxy)
● Efitrano fandoroana plasma izay mitaky fanoherana avo lenta amin'ny fahasimbana
● Robot famindrana hafainganam-pandeha ambony (maivana, henjana be)
Fanamboarana:
Sintering vovoka SiC → fikosoham-bary CNC mazava tsara amin'ny mombamomba ny sandry sy ny endri-javatra fametrahana → fanindriana ny velarana → fanadiovana ultrasonika. Fanaraha-maso 100% amin'ny refy sy fitsapana fivoahan'ny hélium ho an'ny fampiharana banga.
Fanaraha-maso ny Kalitao:
● Fanaraha-maso CMM ny lavany, ny sakany ary ny fisakany
● Fitsapana ny tanjaky ny fihenjanana isaky ny andiany (araka ny fenitra momba ny tatitra fitsapana)
● Fijerena maso eo ambanin'ny mikroskopia mba hahitana ireo lesoka amin'ny ety ambonin'ny tany
Tombony raha oharina amin'ny Alumina na Metaly:
● Modulus elastika 2× ambony kokoa (457 vs ~380 GPa ho an'ny alumina) – fivilian-dalana kely kokoa
● 3× avo kokoa ny conductivity mafana - fanariana hafanana haingana kokoa
● Mahazaka hafanana >1600°C raha oharina amin'ny 800°C an'ny alumina eny amin'ny rivotra
● Kely kokoa noho ny vy ny hakitroky - fihenan'ny lanja 40%
Fanamboarana manokana:
Halavany 150–450 mm, endriky ny tendrony (hazon-damosina, Bernoulli, fisaka), lamina fametrahana flange araka ny sary OEM.
*Avy amin'ny tatitra fitsapana nomena (batch S1111) ny angon-drakitra mekanika rehetra etsy ambony. Ny sandan'ny hafanana sy ny hamafin'ny fitaovana dia mahazatra ho an'ity kilasy SiC ity; mifandraisa aminay raha mila fanamarinana manokana ho an'ny lot.*
