Alumina Vacuum Chuck ho an'ny fanapahana sy fikosoham-bary mazava tsara
Vita amin'ny Al₂O₃ madio 99.8% miaraka amin'ny lavaka banga voalamina tsara ny "vacuum chuck" alumina an'ny St.Cera. Ny fahaizantsika mikosoka amin'ny fomba mazava dia mahatratra fisaka 0.003mm sy fitoviana 0.002mm, izay miantoka ny fikikisana tsy misy miolaka mandritra ny fanapahana, ny fikosoka amin'ny lafiny aoriana, ary ny fanaraha-maso. Ny fitaovana dia manolotra tanjaka avo lenta (361 MPa), hamafin'ny (16 GPa), ary fahamarinan-toerana ara-hafanana hatramin'ny 800°C. Azo alaina amin'ny endrika boribory hatramin'ny 600mm ny savaivony ivelany (OD) ary endrika mahitsizoro hatramin'ny 1500mm ny halavany. Ny lavaka banga dia namboarina manokana (lamina concentric, radial, na grid) mba hifanaraka amin'ny fepetra takiana manokana. Ny "chuck" tsirairay dia dinihina amin'ny alàlan'ny laser interferometer ary omena tatitra fanamarinana fisaka.
Fepetra takiana (mifototra amin'ny 99.8% Al₂O₃& St.Cera fahaiza-manao famokarana):
| NY FANANANA | sarobidy |
| KEVITRA | 99.8% Alumina (Voro) |
| hakitroky | 3.93 g/sm³ |
| Tanjaka miolikolika | 361 MPa |
| Hamafin'ny Vickers | 16 GPa |
| Savaivony ivelany (max) | 600mm |
| Hatevina (ambony indrindra) | 100mm |
| Halavany (ambony indrindra) | 1500mm |
| Fisaka | 0.003mm |
| fitoviana | 0.002mm |
| Famaranana ny velarana | Ra0.1 |
| Mari-pana ambony indrindra amin'ny fiasana | 800°C |
Fampiharana:
- · Fanapahana sy fanindronana wafer (200mm/300mm sy lehibe kokoa)
- · Fikosohana amin'ny ilany aoriana amin'ny wafers manify
- · Fanaraha-maso sy fitiliana optika
- · Fikirakirana substrate lehibe
Fahitsiana amin'ny famokarana:
- · Fahahitsiana: 0.005mm
- · Fifanitsiana: 0.005mm
- · Boribory: 0.002mm
- · Fifantohana: 0.01mm
