Mpanamboatra Seramika Alumina Madio Avo ho an'ny Robot Fikirakirana Wafer
Ny "alumina ceramic end effector" an'ny St.Cera dia vita amin'ny Al₂O₃ madio 99.8% amin'ny fampiasana fitaovana fikosoham-bary CNC 5-axis mandroso. Ny fahaiza-manaonay amin'ny famokarana dia ahitana milina fikosoham-bary mazava tsara sy foibe fanodinana CNC, izay ahafahana manao jeometrika sarotra amin'ny fahamarinan-toerana avo lenta. Ny "end effector" dia manana endrika manify (manify toy ny 1.5 mm) miaraka amin'ny sisiny miendrika tendrony mba hampidirana wafer malefaka. Ny fitaovana dia manome hamafin'ny fitaovana avo lenta (Young's modulus 380 GPa), fanoherana tsara ny fikikisana, ary fahamarinan-toerana mafana hatramin'ny 800°C. Ny singa tsirairay dia totoina amin'ny fahamarinan-toerana mba hahazoana fisaka 0.003mm, paralisma 0.002mm, ary famaranana ny velarana Ra0.1, izay miantoka ny fifandraisana wafer tsy tapaka sy ny fiasana tsy misy poti-javatra ao amin'ny tontolo semiconductor FAB. Azo alaina amin'ny halavany manomboka amin'ny 150 mm ka hatramin'ny 450 mm, miaraka amin'ny jeometrika tendrony namboarina manokana (edge grip, Bernoulli, fisaka) ary flanges fametrahana mba hifanaraka amin'ny robot OEM. Anisan'ny safidy amin'ny famaranana ny velarana ny coating nopetahana, nopolohina, na ESD dissipative coating (10⁶–10⁹ Ω/sq.).
Fepetra takiana (mifototra amin'ny 99.8% Al₂O₃& St.Cera fahaiza-manao famokarana):
| NY FANANANA | sarobidy |
| KEVITRA | 99.8% Alumina (Voro) |
| hakitroky | 3.93 g/sm³ |
| Tanjaka miolikolika | 361 MPa |
| Hamafin'ny Vickers | 16 GPa |
| Modulus an'ny Young | 380 GPa |
| Fisaka | 0.003mm |
| fitoviana | 0.002mm |
| Famaranana ny velarana | Ra0.1 (nofonosina/nopolesina) |
| Mari-pana ambony indrindra amin'ny fiasana | 800°C |
| Halavirana | 150–450 mm |
Fampiharana:
- · Famindrana Wafer amin'ny robot banga sy atmosfera
- · Ireo singa farany FAB mandeha ho azy ho an'ny wafers 200mm/300mm
- · Fikirakirana wafer manify (miaraka amin'ny safidy ESD)
Fahaiza-manao amin'ny famokarana:
Ny milina fikosoham-bary sy ny foibe fanodinana CNC anay dia ahafahana mamokatra singa seramika sarotra miaraka amin'ny:
- · Halavan'ny fanodinana ambony indrindra: 1500mm
- · Savaivony ivelany ambony indrindra: 600mm
- · Savaivony anatiny kely indrindra: 0.2mm
- · Hatevina ambony indrindra: 100mm
Fanaraha-maso ny Kalitao:
Hahitsy 0.005mm, mitsangana 0.005mm, boribory 0.002mm, mifanitsy 0.002mm, mifanindry 0.01mm, mifanindry 0.01mm nohamarinin'ny CMM. Diovina amin'ny alalan'ny ultrasonic ny singa tsirairay ary fonosina amin'ny efitrano madio kilasy 100.
