Chuck banga mahazatra vita amin'ny alumina - Henjana be ho an'ny fanodinana milina mazava tsara
Ity "vacuum chuck" vita amin'ny alumina ity dia vita amin'ny 99.8% Al₂O₃, izay manome endrika malama tsy misy lavaka miaraka amin'ny lamina lavaka namboarina manokana. Manome hamafin'ny endriny miavaka (Young's modulus 380 GPa) sy fisaka (≤3 μm), ka mahatonga azy io ho tsara indrindra amin'ny fikosoham-bary, fanindriana ary fanapahana "semiconductor wafers" sy singa optika. Ny "conductivity thermal" avo lenta an'ny fitaovana (32 W/m·k) dia miantoka ny fitoviana amin'ny mari-pana mandritra ny fanodinana.
fepetra arahana(mifototra amin'ny 99.8% Al₂O₃):
| NY FANANANA | sarobidy |
| KEVITRA | 99.8% Alumina (Voro) |
| hakitroky | 3.93 g/sm³ |
| Tanjaka miolikolika | 361 MPa |
| Hamafin'ny Vickers | 16 GPa |
| Modulus an'ny Young | 380 GPa |
| Fitondran-tena mafana | 32 W/m·k |
| Fisaka | ≤3 μm (mihoatra ny 200mm) |
| Fahasarotan'ny ety ambonin'ny tany (lafiny chuck) | Ra ≤0.4 μm |
| Mari-pana ambony indrindra amin'ny fiasana | 800°C |
Fampiharana:
- · Fitotoana lamosin'ny "wafer" (marefo sy manify)
- · Fanapahana tsara ny fitaovana mora vaky
- · Fametrahana ny sosona seramika
- · Fanadiovana ny lantihy optika
Fanamboarana:
Fametahana mazava tsara ny lafiny roa → fanindriana diamondra (tsy voatery) → fanindronana ny sisiny → fanadiovana ultrasonika → fanaraha-maso fisaka 100% amin'ny alàlan'ny interferometer laser.
Atombony:
- · Ny fanohanana henjana dia mampihena ny fivilian-dalana eo ambanin'ny enta-mavesatra
- · Tsy misy poti-javatra mipoitra avy amin'ny rafitra misy lavaka
- · Mora diovina (mifanaraka amin'ny solvent-lap)
- · Ahitra azo amboarina amin'ny banga (mifanakaiky, radial, lamina namboarina)
Habe azo ampiasaina:
Boribory: 100mm, 150mm, 200mm, 300mm; efamira/mahitsizoro araka izay ilaina.
Manolotra karazana metaly ihany koa izahay mba hahazoana tanjaka mekanika ambony kokoa.
