Vacuum Chuck Seramika Porous vita amin'ny Alumina ho an'ny Fikirakirana Wafer Manify

Ny "porous chuck" vita amin'ny alumina avy amin'ny St.Cera dia vita amin'ny Al₂O₃ madio 99.6% miaraka amin'ny porosity misokatra voafehy 30–45% ary haben'ny mason-koditra mitovy eo anelanelan'ny 10 ka hatramin'ny 50 μm. Tsy toy ny "chucks" misy lavaka, ny velaran-tany misy lavaka dia manome banga miparitaka manerana ny ilany aoriana amin'ny "wafer", ka manafoana ny marika eo amin'ny sisiny ary ahafahana mitazona moramora ireo "wafer" manify dia manify (≤100 μm) na miolakolaka. Ity fitaovana ity dia manolotra tanjaka miolikolika ≥250 MPa ary fahamarinan-toerana ara-hafanana hatramin'ny 400°C amin'ny rivotra.

fepetra arahana(mifototra amin'ny 99.6% Al₂O₃):

Fampiharana:

• · Fikosohana amin'ny ilany aoriana amin'ny wafer manify (≤50 μm)
• · Fametrahana wafer miolikolika ho an'ny fanapahana voatetika
• · Fanangonana die tokana
• · Fikirakirana ny substrate fitaratra

Fanamboarana:

Vovoka afangaro amin'ny mpanamboatra mason-koditra → fanerena isostatika → sintering amin'ny 1600°C → fanindriana hatramin'ny hateviny farany. Ny chuck tsirairay dia nosedraina tamin'ny alàlan'ny fikorianan'ny rivotra mba hahitana ny fitoviana amin'ny banga (fivilian-tsindry <5%) ary nojerena ny fizarana haben'ny mason-koditra (SEM).

Tombony raha oharina amin'ny chucks mahazatra:

• · Tsy misy marika wafer backside na die shift
• · Mahazaka wafers misy tsipìka hatramin'ny 500 μm
• · Manadio tena ny velarana (tsy tsentsina ny mason-koditra)
• · Manala ny adin-tsaina eo an-toerana ny fanohanana mitovy

Cfampiasana manokana:

Endrika boribory na efamira, savaivony 100–450 mm. Misy peratra famehezana sisiny ho an'ny fanaraha-maso ny banga voazarazara.

Mangataha santionany mifanaraka amin'ny haben'ny wafer tianao.