Peratra Seramika Alumina Madio Avo ho an'ny Famehezana Efitrano amin'ny Mari-pana Avo
Ny peratra tombo-kase seramika avy amin'ny St.Cera dia natao ho solon'ny peratra O-polymer amin'ny tontolo iainana tafahoatra izay mihasimba ny elastomera. Vita amin'ny alumina madio 99.8% (Al₂O₃), ity peratra tombo-kase henjana ity dia ampiasaina amin'ny fampiharana tombo-kase static - matetika ampiarahina amin'ny metaly malefaka na gasket grafita - mba hanomezana fitazonana azo antoka amin'ny banga na entona amin'ny mari-pana hatramin'ny 800°C ary amin'ny tontolo plasma na simika mahery vaika. Ity fitaovana ity dia manolotra tsy misy entona mivoaka, tanjaka avo lenta (tanjaka miondrika fototra 361 MPa), ary tsy mihetsika simika (mahatanty halogen, asidra ary alkali afa-tsy HF). Ny velaran-tombo-kase voapetaka tsara (fisaka ≤5 μm, harafesina Ra ≤0.2 μm) dia miantoka ny fifandraisana tsy mitete amin'ny metaly na singa seramika mifamatotra.
fepetra arahana(mifototra amin'ny 99.8% Al₂O₃):
| NY FANANANA | sarobidy |
| KEVITRA | 99.8% Alumina (Voro) |
| hakitroky | 3.93 g/sm³ |
| Fidiran'ny rano | 0% |
| Tanjaka miolikolika | 361 MPa |
| Tanjaky ny famoretana (tombana) | >2000 MPa |
| Hamafin'ny Vickers | 16 GPa |
| Fitomboana ara-hafanana (25–1000°C) | 7.2×10⁻⁶/℃ |
| Mari-pana ambony indrindra amin'ny fiasana | 800°C (rivotra), 1600°C (tsy mihetsika) |
| Famaranana ny velarana (faritra famehezana) | Ra ≤0.2 μm (nofonosina) |
| Fisaka (isaky ny 25 mm) | ≤5 μm |
| Hafainganam-pandehan'ny hélium | <1×10⁻¹⁰ Pa·m³/s (miaraka amin'ny gasket mety) |
Fampiharana:
- · Tombo-kase statika ho an'ny efitrano fizotran'ny semiconductor (CVD, PVD, etch)
- · Tombo-kase varavaran'ny lafaoro amin'ny mari-pana avo
- · Flanges fampidirana rivotra ao anaty banga
- · Fanidiana ny fitoeran-javatra simika
Dingana famokarana:
Fanindriana isostatika → sintering amin'ny 1600°C → fanindriana lafiny roa mazava tsara mba hahazoana tombo-kase fisaka sy malama tsara → fanindriana ny sisiny → fanadiovana ultrasonika. Ny peratra tsirairay dia nosedraina 100% amin'ny fitaovana mpitsikilo fivoahan'ny hélium miaraka amin'ny gasket metaly mahazatra.
Fanaraha-maso ny Kalitao:
- · Fanamarinana ny refy CMM (ID, OD, hatevina, fitoviana)
- · Profilometera momba ny velarana ho an'ny Ra sy ny onja
- · Fandrefesana ny fisaka amin'ny fampiasana fisaka optika
- · Fitsapana fivoahan'ny hélium (fomba fanerena miverina)
Tombony raha oharina amin'ny peratra O-polymer:
- · Mahazaka 800°C vs. <300°C ho an’ny FFKM
- · Tsy misy entona mivoaka — tsy misy loto avy amin'ny tontolo banga
- · Mahatohitra ny singa simika rehetra ao amin'ny plasma (fluorine, chlore, oksizenina)
- · Tsy misy fanerena napetraka na fiovaovan'ny endrika maharitra
- · Faharetan'ny fampiasana tsy voafetra ao anaty tontolo madio
Famerana (Fanamarihana manan-danja):
- · Tsy peratra O— peratra seramika henjana izay mitaky gasket malefaka (varahina, aliminioma, na grafita) mba hanidiana azy.
- · Tsy mahazaka fihetsehana mavitrika na tsy fitoviana lehibe eo amin'ny flange.
- · Lafo kokoa ny vidiny voalohany noho ny peratra-O polymer, saingy mampihena ny vidin'ny fananana azy ny androm-piainana lava kokoa.
- · Mora marefo — tantano amim-pitandremana; fadio ny fiantraikan'ny tendrony na ny fihenjanana amin'ny fiolahana.
Fanamarihana:Manaraka tsara ny tabilao toetran'ny Al₂O₃ nomena ny angon-drakitra etsy ambony. Tsy nisy angon-drakitra nomena momba ny fitaovana elastomerika. Peratra tombo-kase statika ity vokatra ity, fa tsy peratra-O elastomerika. Azafady mba hamafiso raha mahafeno ny fepetra takinao amin'ny fampiharana izany.
